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 | 半导体设备ETF华夏(562590)基金投资组合(持股) 年份： | | 截止日期 | 股票代码 | 股票名称 | 数量(万股) | 持有市值(万元) | 占基金资产净值比例(%) | | 2026-03-31 | 688012 | 中微公司 | 120.28 | 36851.08 | 43.74% | | 2026-03-31 | 002371 | 北方华创 | 71.78 | 32087.00 | 38.08% | | 2026-03-31 | 688072 | 拓荆科技 | 49.38 | 18271.19 | 21.69% | | 2026-03-31 | 300604 | 长川科技 | 130.02 | 15738.92 | 18.68% | | 2026-03-31 | 688120 | 华海清科 | 72.45 | 12606.16 | 14.96% | | 2026-03-31 | 688126 | 沪硅产业 | 558.07 | 9431.45 | 11.19% | | 2026-03-31 | 688361 | 中科飞测 | 61.46 | 9345.52 | 11.09% | | 2026-03-31 | 300346 | 南大光电 | 202.38 | 9135.52 | 10.84% | | 2026-03-31 | 300666 | 江丰电子 | 62.10 | 8645.56 | 10.26% | | 2026-03-31 | 688019 | 安集科技 | 34.35 | 8610.16 | 10.22% | |
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